到達目標
シリコン半導体技術の概要,半導体デバイスの概要,及び半導体プロセスの概要について理解し説明できる.
ルーブリック
| 理想的な到達レベルの目安 | 標準的な到達レベルの目安 | 未到達レベルの目安 |
シリコン半導体技術の概要 | 集積回路の現状,課題,今後の進展につき,ムーアの法則,スケーリング則を理解したうえで,説明できる. | 集積回路の現状,課題,今後の進展を説明できる. | 集積回路の現状,課題,今後の進展が説明できない. |
半導体デバイスの概要 | 本科で学習したpn接合ダイオード,MOS型トランジスタについて,専門英語の教科書の内容を理解,要約し,図を用いてプレゼンテーションできる. | 本科で学習したpn接合ダイオード,MOS型トランジスタについて,専門英語の教科書の内容を理解し説明できる. | 本科で学習したpn接合ダイオード,MOS型トランジスタについて,専門英語の教科書の内容が理解できない. |
半導体プロセスの概要 | 集積回路に用いられているCMOSトランジスタの概要,基本プロセス技術について,専門英語の教科書の内容を理解,要約し,図を用いてプレゼンテーションできる. | 集積回路に用いられているCMOSトランジスタの概要,基本プロセス技術について,専門英語の教科書の内容を理解し説明できる. | 集積回路に用いられているCMOSトランジスタの概要,基本プロセス技術について,専門英語の教科書の内容が理解できない. |
学科の到達目標項目との関係
教育方法等
概要:
教科書の第2,3章を用いて,集積回路工学のうちMOSトランジスタ理論に基づいて,シリコン半導体技術の概要からシリコン結晶の作製方法やCMOS回路の特徴とその製作技術を分り易く教授する.講義では、最先端のシリコン結晶製造法や酸化,拡散工程とそれを用いたCMOSデバイスの作製プロセス技術,製造装置を講習する.また,次世代材料やデバイスについても学習する.
※実務との関係 この科目は企業の研究員として半導体プロセスの研究を担当していた教員がその経験を活かし,集積回路の製作技術等について講義形式で授業を行うものである.
授業の進め方・方法:
①集積回路工学に関する英文教科書を用いて,最先端のシリコン結晶製造法や酸化,拡散工程とそれを用いたCMOSデバイスの作製プロセスを理解し説明できる.②集積回路工学が果たす社会的役割と半導体産業の実情を認識する.併せて,デバイス物性と集積回路の設計技術との接点を理解し説明できる.
注意点:
本科で学ぶ電子工学を基礎としています.本科での講義内容について十分に復習して受講してください.
各授業項目の自学学習のために授業中にレポート課題を与えます.質問等は空き時間に随時受けつけます.
本科目は2単位の学修科目です.規定授業時間は30時間であり,1単位あたり30時間程度の自学学習が求められます.
授業の属性・履修上の区分
授業計画
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週 |
授業内容 |
週ごとの到達目標 |
後期 |
3rdQ |
1週 |
ガイダンス シリコン半導体技術の概要(1) |
シリコン半導体産業の概要と市場を理解し説明できる.
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2週 |
シリコン半導体技術の概要(2) |
シリコン半導体産業の概要と市場を理解し説明できる.
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3週 |
酸化,拡散工程技術(1) |
酸化,拡散工程の概要を理解し説明できる.
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4週 |
酸化,拡散工程技術(2) |
酸化,拡散工程の概要を理解し説明できる.
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5週 |
NMOSトランジスタ(1) |
NチャネルMOSトランジスタの概要と動作原理,及び,製作プロセスを理解し説明できる.
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6週 |
NMOSトランジスタ(2) |
NチャネルMOSトランジスタの概要と動作原理,及び,製作プロセスを理解し説明できる.
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7週 |
CMOS回路(1) |
CMOSトランジスタの概要と動作原理,及び,製作プロセスを理解し説明できる.
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8週 |
CMOS回路(2) |
CMOSトランジスタの概要と動作原理,及び,製作プロセスを理解し説明できる.
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4thQ |
9週 |
CMOS回路(3) |
CMOSトランジスタの概要と動作原理,及び,製作プロセスを理解し説明できる.
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10週 |
CMOS回路(4) |
CMOSトランジスタの概要と動作原理,及び,製作プロセスを理解し説明できる.
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11週 |
SOIデバイス(1) |
SOIデバイスの概要と動作原理,及び,製作プロセスを理解し説明できる.
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12週 |
SOIデバイス(2) |
SOIデバイスの概要と動作原理,及び,製作プロセスを理解し説明できる.
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13週 |
次世代材料・デバイス(1) |
ポストSi材料であるSiGe,歪Siなどの次世代材料の動作原理,製作プロセスを理解し説明できる.
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14週 |
次世代材料・デバイス(2) |
ポストSi材料であるSiGe,歪Siなどの次世代材料の動作原理,製作プロセスを理解し説明できる.
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15週 |
定期試験 |
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16週 |
試験返却及び解説 |
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モデルコアカリキュラムの学習内容と到達目標
分類 | 分野 | 学習内容 | 学習内容の到達目標 | 到達レベル | 授業週 |
評価割合
| 試験 | 発表 | レポート | 合計 |
総合評価割合 | 60 | 30 | 10 | 100 |
基礎的能力 | 0 | 0 | 0 | 0 |
専門的能力 | 60 | 30 | 10 | 100 |
分野横断的能力 | 0 | 0 | 0 | 0 |