薄膜工学

科目基礎情報

学校 富山高等専門学校 開講年度 平成29年度 (2017年度)
授業科目 薄膜工学
科目番号 0052 科目区分 専門 / 選択
授業形態 授業 単位の種別と単位数 学修単位: 2
開設学科 エコデザイン工学専攻 対象学年 専2
開設期 後期 週時間数 2
教科書/教材 薄膜工学 第3版 金原粲 (監修)吉田貞史・近藤高志(編著)(丸善 2016)
担当教員 櫻井 豊

到達目標

・薄膜とは何か説明出来る
・ドライ法による薄膜作成法について説明できる
・薄膜の評価法・応用について説明できる

ルーブリック

理想的な到達レベルの目安標準的な到達レベルの目安未到達レベルの目安
薄膜とは何か説明出来る基本的な概念から要領よく説明できる基本的な概念からそれなりに説明できる基本的な概念を満足に述べる事が出来ない
ドライ法による薄膜の作製法を説明できる蒸着法,スパッタ法,CVD法を挙げ十分説明できる蒸着法,スパッタ法,CVD法のうち少なくとも2つについて説明できる蒸着法,スパッタ法,CVD法のうち2つを挙げられない
各種分野の薄膜について説明できる半導体・光学・有機・誘電体・磁性体のうち4つについて十分説明できる半導体・光学・有機・誘電体・磁性体のうち3つについて説明できる半導体・光学・有機・誘電体・磁性体のうち3つを挙げられない
薄膜の評価法について説明できる膜厚測定,機械・化学特性について十分説明できる膜厚測定,機械・化学特性についてそれなりに説明できる膜厚測定,機械・化学特性について説明できない
電子デバイスへの応用について述べる事ができる学習各分野について挙げる事ができる学習各分野の幾つかについて挙げる事ができる学習各分野について挙げる事ができない

学科の到達目標項目との関係

教育方法等

概要:
薄膜技術は古くはめっきや箔から始まるが,近年工業分野に大幅に導入され,特に半導体技術や磁気記録技術はこれ無しでは全く成り立たないほどの中核技術である.しかしながら,専門分野的には物理・化学・機械・電気電子・材料等にまたがり,体系的な学問というよりも,各専門分野の数だけ薄膜工学があると言っても過言ではない.
授業の進め方・方法:
本科目では電子デバイスに利用される各種の薄膜について,その基礎となる真空技術と作成技術,評価技術について講義し,最後に最近の研究開発に触れる.
注意点:
薄膜工学は,非常に広い横断的な学問であるので,専門にとらわれない広範な知識・関心が要求される.本科目は真空プロセスによるドライ法を用いた電子デバイスへの適用を念頭に置く.

授業計画

授業内容 週ごとの到達目標
後期
3rdQ
1週 薄膜工学の概念 薄膜の特徴と工業的利用領域を理解
2週 薄膜の作成法I,真空蒸着
真空蒸着法の原理とその種類について
3週 薄膜の作成法II,スパッタリング スパッタリング法の原理とその種類について
4週 薄膜の作成法III,CVD CVD(化学気相堆積)法の原理とその種類について
5週 半導体薄膜 半導体薄膜の機能について
6週 光学薄膜 光学薄膜の機能について
7週 有機薄膜 有機薄膜の機能について
8週 誘電体薄膜 誘電体薄膜の機能について

4thQ
9週 磁性薄膜 磁性薄膜の機能について
10週 膜厚測定法 薄膜の評価として重要な膜厚測定法について
11週 薄膜の機械的・力学的性質 薄膜の機械的・力学的側面について
12週 薄膜の化学的性質 薄膜の化学的側面について
13週 電子デバイスへの応用I,薄膜応用の研究開発 電子デバイスへの薄膜応用における研究開発の動向
14週 電子デバイスへの応用II 電子デバイスへの薄膜応用における研究開発の動向(つづき)
15週 期末テスト
16週 期末テストの解答,アンケート

モデルコアカリキュラムの学習内容と到達目標

分類分野学習内容学習内容の到達目標到達レベル授業週
基礎的能力人文・社会科学国語国語代表的な古文・漢文を読み、言葉や表現方法の特徴をふまえて人物・情景などを理解し、人間・社会・自然などについて考えを深めたり広げたりすることができる。3
古文・漢文について、音読・朗読もしくは暗唱することにより、特有のリズムや韻などを味わうことができる。3
代表的な古文・漢文について、日本文学史および中国文学史における位置を理解し、作品の意義について意見を述べることができる。また、それらに親しもうとすることができる。3
教材として取り上げた作品について、用いられている言葉の現代の言葉とのつながりや、時代背景などに関する古文・漢文の基礎的知識を習得できる。3
論理的な文章を読み、論理の構成や展開の把握にもとづいて論旨を客観的に理解し、要約し、意見を表すことができる。また、論理的な文章の代表的構成法を理解できる。3
代表的な文学作品を読み、人物・情景・心情の描写ならびに描写意図などを理解して味わうとともに、その効果について説明できる。3
文章を客観的に理解し、人間・社会・自然などについて考えを深め、広げることができる。3
文学作品について、鑑賞の方法を理解できる。また、代表的な文学作品について、日本文学史における位置を理解し、作品の意義について意見を述べることができる。3
鑑賞にもとづく批評的な文章の執筆や文学的な文章(詩歌、小説など)の創作をとおして、感受性を培うことができる。3
読書習慣の形成をとおして感受性を培い、新たな言葉やものの見方を習得して自らの表現の向上に生かすことができる。3
現代日本語の運用、語句の意味、常用漢字、熟語の構成、ことわざ、慣用句、同音同訓異義語、単位呼称、対義語と類義語等の基礎的知識についての理解を深め、その特徴を把握できる。また、それらの知識を適切に活用して表現できる。3
論理的な文章(論説や評論)の構成や展開を的確にとらえ、要約できる。4
論理的な文章(論説や評論)に表された考えに対して、その論拠の妥当性の判断を踏まえて自分の意見を述べることができる。4
文学的な文章(小説や随筆)に描かれた人物やものの見方を表現に即して読み取り、自分の意見を述べることができる。4
常用漢字の音訓を正しく使える。主な常用漢字が書ける。4
類義語・対義語を思考や表現に活用できる。4
社会生活で使われている故事成語・慣用句の意味や内容を説明できる。4
専門の分野に関する用語を思考や表現に活用できる。4
情報の収集や発想・選択・構成の方法を理解し、論理構成や口頭によるものを含む表現方法を工夫して、科学技術等に関する自らの意見や考えを効果的に伝えることができる。また、信頼性を重視して情報を分析し、図表等を適切に活用・加工してコミュニケーションに生かすことができる。3
他者の口頭によるものを含む表現について、客観的に評価するとともに建設的に助言し、多角的な理解力、柔軟な発想・思考力の涵養に努めるとともに、自己の表現の向上に資することができる。3
相手の意見を理解して要約し、他者の視点を尊重しつつ、建設的かつ論理的に自らの考えを構築し、合意形成にむけて口頭によるコミュニケーションをとることができる。また、自らのコミュニケーションスキルを改善する方法を習得できる。3
社会で使用される言葉を始め広く日本語を習得し、その意味や用法を理解できる。また、それらを適切に用い、社会的コミュニケーションとして実践できる。3
実用的な文章(手紙・メール)を、相手や目的に応じた体裁や語句を用いて作成できる。4
報告・論文の目的に応じて、印刷物、インターネットから適切な情報を収集できる。4
収集した情報を分析し、目的に応じて整理できる。4
報告・論文を、整理した情報を基にして、主張が効果的に伝わるように論理の構成や展開を工夫し、作成することができる。4
作成した報告・論文の内容および自分の思いや考えを、的確に口頭発表することができる。4
課題に応じ、根拠に基づいて議論できる。4
相手の立場や考えを尊重しつつ、議論を通して集団としての思いや考えをまとめることができる。4
新たな発想や他者の視点の理解に努め、自分の思いや考えを整理するための手法を実践できる。4
社会地理歴史的分野民族、宗教、生活文化の多様性を理解し、異なる文化・社会が共存することの重要性について考察できる。4
公民的分野人間の生涯における青年期の意義と自己形成の課題を理解し、これまでの哲学者や先人の考え方を手掛かりにして、自己の生き方および他者と共に生きていくことの重要性について考察できる。4
現代社会の考察現代社会の特質や課題に関する適切な主題を設定させ、資料を活用して探究し、その成果を論述したり討論したりするなどの活動を通して、世界の人々が協調し共存できる持続可能な社会の実現について人文・社会科学の観点から展望できる。4

評価割合

試験発表相互評価態度ポートフォリオその他合計
総合評価割合10000000100
基礎的能力300000030
専門的能力400000040
分野横断的能力300000030