到達目標
(1) プラズマの性質が理解できる.
(2) プラズマの発生原理が理解できる.
(3) プラズマの応用技術について理解できる.
ルーブリック
| 理想的な到達レベルの目安 | 標準的な到達レベルの目安 | 未到達レベルの目安 |
評価項目1 | プラズマの性質とその理由が理解できる | プラズマの性質が概ね理解できる | プラズマの性質が理解できない |
評価項目2 | プラズマの発生原理と利点・欠点が理解できる | プラズマの発生原理が概ね理解できる | プラズマの発生原理が理解できない |
評価項目3 | プラズマの応用技術が理解でき,応用例を説明できる | プラズマの応用技術が概ね理解できる | プラズマの応用技術が理解できない |
学科の到達目標項目との関係
学習・教育到達度目標 D
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JABEE d-1
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教育方法等
概要:
物質の第4 の状態である、プラズマについての知識を習得する。
プラズマの物理的・化学的性質や発光現象について理解する.
プラズマは蛍光灯やエレクトロニクスをはじめとする種々の工業に
広範囲に応用されており,これらの応用についても理解する。
授業の進め方・方法:
高電圧工学分野における,粒子の衝突過程,気体の放電現象に関する知識が必要である.
プラズマの応用に関して,各自調査しプレゼンテーションを行う.
合否判定:2回の定期試験の平均点が60点を超えていること.
最終評価:2回の定期試験の平均点とする。
本科で学んだ気体放電現象の基本は,復習的に教授する.プラズマの発生および応用に関しては,
主に現象論に重点をおいて授業展開する.
注意点:
授業計画
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週 |
授業内容 |
週ごとの到達目標 |
後期 |
3rdQ |
1週 |
プラズマの性質 |
プラズマの性質を理解できる.
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2週 |
粒子の衝突 |
衝突断面積,平均自由行程を理解できる.
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3週 |
原子の励起と電離 |
原子の内部エネルギー,電離を理解できる.
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4週 |
分子の励起・解離・電離 |
分子の内部エネルギー,衝突を理解できる.
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5週 |
放電によるプラズマの発生 1 気体の絶縁破壊 |
気体の絶縁破壊を理解できる.
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6週 |
放電によるプラズマの発生 2 タウンゼント理論 |
タウンゼント理論を理解できる.
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7週 |
放電によるプラズマの発生 3 ストリーマ理論 |
ストリーマ理論を理解できる.
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8週 |
中間試験 |
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4thQ |
9週 |
各種放電プラズマ 1 直流放電 |
直流放電を理解できる.
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10週 |
各種放電プラズマ 2 グロー放電 |
グロー放電を理解できる.
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11週 |
各種放電プラズマ 3 アーク放電 |
アーク放電を理解できる.
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12週 |
各種放電プラズマ 4 コロナ放電 |
コロナ放電を理解できる.
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13週 |
プラズマの応用 1 プラズマCVD |
プラズマCVDの原理を理解できる.
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14週 |
プラズマの応用 2 半導体製造 |
LSIの製造プロセスを理解できる.
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15週 |
プラズマの応用 3 オゾナイザ等 |
コピー機,プラズマディスプレイ,オゾナイザ等のプラズマ応用技術の原理を理解できる.
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16週 |
期末試験 |
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モデルコアカリキュラムの学習内容と到達目標
分類 | 分野 | 学習内容 | 学習内容の到達目標 | 到達レベル | 授業週 |
評価割合
| 試験 | 発表 | 相互評価 | 態度 | ポートフォリオ | その他 | 合計 |
総合評価割合 | 100 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 100 |
基礎的能力 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
専門的能力 | 100 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 100 |
分野横断的能力 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |