半導体工学（5年）

科目基礎情報

学校	鶴岡工業高等専門学校	開講年度	平成30年度 (2018年度)
授業科目	半導体工学（5年）
科目番号	0293	科目区分	専門 / 選択
授業形態	授業	単位の種別と単位数	学修単位: 1
開設学科	_物質工学科	対象学年	5
開設期	集中	週時間数
教科書/教材
担当教員	佐藤 貴哉,千葉 貴之,渡部 潔

到達目標

＊Ｓｉ半導体　特にＭＯＳ　Ｔｒの特性を理解する。
＊ＬＳＩの作り方　特にパターンニング（微細化）技術について理解し、Ｗ／Ｗでの課題及びその対応策案をまとめられる。
＊半導体、有機デバイスの動作原理、製造工程、応用製品、市場について、他分野の技術者に説明でき、その説明を理解してもらうことが出来る。

ルーブリック

	理想的な到達レベルの目安	標準的な到達レベルの目安	未到達レベルの目安
評価項目1	半導体にあまり知識のない人達に対しても理解できるように, Ｓｉ半導体の基礎、ＬＳＩの作り方について説明できる。現在の課題等について対応案も含めて説明できる。	半導体にあまり知識のない人達に対しても理解できるように, Ｓｉ半導体の基礎、ＬＳＩの作り方については説明出来るが現状の課題、対応策案については出来ない。	半導体にあまり知識のない人達に対しても理解できるように, Ｓｉ半導体の基礎、ＬＳＩの作り方等について話はするが相手は何も理解できない。
評価項目2	半導体関係の生産技術者と会話して, 彼らの言っている事が殆ど理解でき、疑問点等が質問できる。	半導体関係の生産技術者と会話して, 彼らの言っている事が５０％程度理解できるが　疑問点等は抽出できず, 質問は深く出来ない。	半導体関係の生産技術者と会話して, 彼らの言っている事は殆ど理解できず、ただ聞いているだけ。
評価項目3	有機ELについて新たな課題設定が出来、課題解決に向けたアイデアを創出できる。	有機ELの動作原理、製造工程、応用製品について他分野の技術者に説明でき、よく理解してもらうことが出来る。	有機化学デバイスについて理解したが、その仲のうち一つも他の技術者に説明することが出来ない。説明しても理解してもらえない。

教育方法等

概要:

シリコン半導体、有機デバイスについてその基礎原理、製造工程、世界における日本の半導体業界のポジション、半導体ビジネスの課題、今後の展望などについて学ぶ。半導体業界で活躍した技術者、活躍中の高専OBが講師を勤めるので、現場の生の技術、知識を学ぶことが出来る。技術のみならず市場やビジネス全般について知る。実習、技術者とのディスカッションなど、アクティブラーニングの手法を取り入れた教授法で講義を行う。

授業の進め方・方法:

企業および大学から講師を向かえて、シリコン半導体と有機デバイスについて、基礎科学から現状の市場動向まで幅広く講義する。実習や技術者とのディスカッションに積極的に参加すること。評価は、レポート（７０％）、授業への積極的な取り組み姿勢（３０％）で評価する。二日間、休まず出席した学生のみを評価対象とする。

注意点:

二日とも出席して、レポートも提出した学生のみ評価対象とする。

授業計画

		週	授業内容	週ごとの到達目標
前期
	1stQ
		1週	シリコン半導体の基礎 1)半導体微細化の歴史と身近にある半導体	シリコン半導体の基礎的事項を理解し、他者に説明できる。
		2週	2)半導体の特徴と性質 3)不純物半導体の原理とＰＮ接合	不純物半導体の原理とＰＮ接合について初心者に説明できる。
		3週	4)ＭＯＳトランジスタの動作原理 5)半導体の出きるまで[前工程]	MOSトランジスタの動作原理、製造工程を他者に説明できる。
		4週	6)半導体の出来るまで[後工程] 7)ＣＭＯＳを作ってみよう(実習)	実習に参加する。
		5週	8)ＣＭＯＳセンサーについて（ソニーの技術者/鶴岡高専出身者）	半導体業界について理解する。
		6週	9)半導体製造装置業界の概要と日本のポジション（強み）	〃
		7週	10)パターンニング技術について リソグラフィー技術、エッチング技術（ニコン、TEL技術者）	半導体製造工程について説明できる。　 TEL:東京エレクトロン
		8週	11)最近の半導体トピックス 12)エンジニアとのディスカッション	ディスカッションに参加する。
	2ndQ
		9週	13) 有機エレクトロニクスについて 14)有機トランジスタ	有機半導体の基本物性を理解し、キャリア輸送、キャリア注入過程を説明できる。
		10週	15)有機太陽電池 16)有機エレクトロニクスの展望	各種有機デバイスの原理を説明できる。
		11週	17)有機ELの基礎 18)有機Elの製造プロセス	有機ELの基礎原理を説明できる。 製造工程の概略を説明できる。
		12週	19)有機EL開発の歴史 20)ディスプレーへの応用	有機ELの歴史と今後の展望について理解する。
		13週	21)照明パネルへの応用 22)今後の展望
		14週
		15週
		16週
後期
	3rdQ
		1週
		2週
		3週
		4週
		5週
		6週
		7週
		8週
	4thQ
		9週
		10週
		11週
		12週
		13週
		14週
		15週
		16週

評価割合

	試験	発表	相互評価	態度	ポートフォリオ	その他	合計
総合評価割合	0	0	0	30	0	70	100
基礎的能力	0	0	0	15	0	30	45
専門的能力	0	0	0	15	0	30	45
分野横断的能力	0	0	0	0	0	10	10