精密・微細加工学

科目基礎情報

学校 東京工業高等専門学校 開講年度 令和03年度 (2021年度)
授業科目 精密・微細加工学
科目番号 0044 科目区分 専門 / 選択
授業形態 講義 単位の種別と単位数 学修単位: 2
開設学科 機械情報システム工学専攻 対象学年 専2
開設期 前期 週時間数 2
教科書/教材 参考書:ナノ・マイクロスケール機械工学(東京大学出版会)
担当教員 角田 陽

目的・到達目標

 ナノテクノロジの時代の現在,各種の機械要素においてもナノメートル(nm)オーダの寸法・形状精度が必要となってきている.そこでは,切削や研削といった従来の加工法に加えて,電気的,物理的、化学的な作用を利用した加工法が用いられる.本講義では,μmオーダから原子単位に至るまでの超精密かつ微細な先端加工法の原理,基礎理論等を学び,ナノテクノロジ時代を開拓する実践的エンジニアの基礎的素養としての基礎を築くことを目的に,精密加工および微細加工技術についてを理解し,説明し,利用できることを目標とする.

ルーブリック

理想的な到達レベルの目安標準的な到達レベルの目安未到達レベルの目安(可)未到達レベルの目安
各種の精密加工技術について理解し,説明でき,利用もできる.各種の精密加工技術について理解し,人に説明できる.各種の精密加工技術について理解しているが,人に説明できない.各種の精密加工技術について理解していない.
各種の微細加工技術について理解し,説明でき,利用もできる.各種の微細加工技術について理解し,人に説明できる.各種の微細加工技術についてしているが,人に説明できない.各種の微細加工技術について理解していない.

学科の到達目標項目との関係

教育方法等

概要:
 講義形式を基本とする.適宜,視聴覚教材の活用,実機による実演,実機の見学や展示会見学などによって,具体的な知識を深めるようにする.
授業の進め方と授業内容・方法:
 講義形式を基本とする.この科目は学修単位科目のため,事前・事後学習として,予習・復習を行うこと.事前・事後学習としてレポートやオンラインテストを実施します.
注意点:
 講義に出席し,ノートをとり,自身でも精密微細加工技術についての理解を自修する.本科目の成績は,予習や復習等の実施状況も考慮して判断するため,自学自修は必須である.

授業の属性・履修上の区分

アクティブラーニング
ICT 利用
遠隔授業対応
実務経験のある教員による授業

授業計画

授業内容・方法 週ごとの到達目標
前期
1stQ
1週 精密微細加工技術の概要 精密微細加工技術の概要を理解する
2週 微細加工技術の概要 微細加工技術の概要を理解する
3週 微細加工技術 リソグラフィ リソグラフィ技術を理解する
4週 微細加工技術 液相エッチング 液相エッチングを理解する
5週 微細加工技術 気相エッチング 気相エッチングを理解する
6週 微細加工技術 PVD PVDを理解する
7週 微細加工技術 CVD CVDを理解する
8週 微細加工技術の概要 応用 微細加工技術の応用技術を理解する
2ndQ
9週 精密加工技術 レーザ加工 レーザ加工を理解する
10週 精密加工技術 放電加工 放電加工を理解する
11週 精密加工技術 超精密加工技術 超精密加工技術を理解する
12週 精密加工技術 超精密加工技術 超精密加工技術を理解する
13週 精密加工技術 超精密加工技術 超精密加工技術を理解する
14週 精密加工技術 超精密加工技術 超精密加工技術を理解する
15週 精密微細加工技術 まとめ展望 精密微細加工技術の展望を理解する
16週

評価割合

試験レポート相互評価発表ポートフォリオその他合計
総合評価割合07003000100
基礎的能力0300100040
専門的能力0300100040
分野横断的能力0100100020