到達目標
前期期末試験：トランジスタの動作原理、VLSI 製造プロセスや各種材料の特徴、CMOS 回路の理解
学年末試験：VLSI 設計技術の理解と、設計検証、テストに対する理解
ルーブリック
| 理想的な到達レベルの目安 | 標準的な到達レベルの目安 | 未到達レベルの目安 |
| 評価項目1 | | | |
| 評価項目2 | | | |
| 評価項目3 | | | |
学科の到達目標項目との関係
準学士課程（本科１〜５年）学習教育目標 （２）
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JABEE基準 (d-1)
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JABEE基準 (d-2a)
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システム創成工学教育プログラム学習・教育目標 B-2
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システム創成工学教育プログラム学習・教育目標 D-1
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教育方法等
概要:
集積回路の基礎である半導体デバイス原理と基本素子，材料，論理回路の構成方法から，メモリや
プロセッサ，SoC など今日のVLSI 技術に発展させた内容で講義を行う。また，バイオチップや光
半導体など最先端のVLSI 技術についても紹介する。
授業の進め方・方法:
教科書をもとに，全体的な内容を教員から一通り講義したのち，インターネットおよび書籍などを
用いて，学習内容の理解をすすめ，現在の動向を調査することで知識の定着を図る。
注意点:
関連科目
ディジタル回路，論理回路，コンピュータアーキテクチャ，回路理論，電子回路
コンピュータ援用論理設計と関連する。
学習指針
情報産業の基盤である半導体材料，デバイスについて理解するために，すでに学習済みの科目
との関係性を十分に理解しておくこと。また，半導体関係のニュース等を積極的に読み，最新の
半導体に関する情報収集を行うと学んだことが身につきやすいため推奨する。
自己学習
学習した内容を適宜ノートにまとめることを要求するので，授業時間外に取り組んでおくこと。
授業計画
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週 |
授業内容 |
週ごとの到達目標 |
| 前期 |
| 1stQ |
| 1週 |
集積回路の基礎 |
集積回路の基本，技術ロードマップについて説明できる。
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| 2週 |
半導体 |
P型・N 型半導体の原理について説明することができる。
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| 3週 |
ダイオードの基本 |
PN 接合，ダイオードについて説明することができる。
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| 4週 |
バイポーラトランジスタ |
特徴，動作原理を説明することができる。
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| 5週 |
MOS トランジスタ1 |
特徴，動作原理を説明することができる。
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| 6週 |
MOS トランジスタ2 |
CMOS 論理回路を構成することができる。
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| 7週 |
半導体製造装置1 |
半導体製造装置について理解し説明することができる。
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| 8週 |
半導体製造装置2 |
半導体製造装置について理解し説明することができる。
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| 2ndQ |
| 9週 |
洗浄装置 |
洗浄装置について理解し説明することができる。
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| 10週 |
乾燥装置 |
乾燥装置について理解し説明することができる。
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| 11週 |
イオン注入装置1 |
イオン注入装置について理解し説明することができる。
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| 12週 |
イオン注入装置2 |
イオン注入装置について理解し説明することができる。
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| 13週 |
熱処理装置1 |
熱処理装置について理解し説明することができる。
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| 14週 |
熱処理装置2 |
熱処理装置について理解し説明することができる。
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| 15週 |
前期末考査 |
学習内容を正しく理解し，問題に答えることができる。
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| 16週 |
試験返却 |
間違ったポイントを正しく理解しなおすことができる。
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| 後期 |
| 3rdQ |
| 1週 |
リソグラフィ装置1 |
リソグラフィ装置について理解し説明することができる。
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| 2週 |
リソグラフィ装置2 |
リソグラフィ装置について理解し説明することができる。
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| 3週 |
エッチング装置1 |
エッチング装置について理解し説明することができる。
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| 4週 |
エッチング装置2 |
エッチング装置について理解し説明することができる。
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| 5週 |
成膜装置1 |
成膜装置について理解し説明することができる。
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| 6週 |
成膜装置2 |
成膜装置について理解し説明することができる。
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| 7週 |
平坦化装置1 |
平坦化装置について理解し説明することができる。
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| 8週 |
平坦化装置2 |
平坦化装置について理解し説明することができる。
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| 4thQ |
| 9週 |
検査装置 |
検査装置について理解し説明することができる。
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| 10週 |
測定装置 |
測定装置について理解し説明することができる。
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| 11週 |
解析装置 |
解析装置について理解し説明することができる。
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| 12週 |
後工程装置1 |
後工程装置について理解し説明することができる。
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| 13週 |
後工程装置2 |
後工程装置について理解し説明することができる。
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| 14週 |
後工程装置3 |
後工程装置について理解し説明することができる。
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| 15週 |
学年末考査 |
学習内容を正しく理解し，問題に答えることができる。
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| 16週 |
試験返却 |
間違ったポイントを正しく理解しなおすことができる。
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モデルコアカリキュラムの学習内容と到達目標
| 分類 | 分野 | 学習内容 | 学習内容の到達目標 | 到達レベル | 授業週 |
| 基礎的能力 | 工学基礎 | 技術史 | 技術史 | 歴史の大きな流れの中で、科学技術が社会に与えた影響を理解し、自らの果たしていく役割や責任を理解できる。 | 3 | 前1 |
| グローバリゼーション | グローバリゼーション | 世界の歴史、交通・通信の発達から生じる地域間の経済、文化、政治、社会問題を理解し、技術者として、それぞれの国や地域の持続的発展を視野においた、経済的、社会的、環境的な進歩に貢献する資質を持ち、将来技術者の役割、責任と行動について考えることができる。 | 3 | 前1 |
| 専門的能力 | 分野別の専門工学 | 情報系 | 計算機工学 | 論理ゲートを用いて論理式を組合せ論理回路として表現することができる。 | 4 | 前5,前6 |
| 組合せ論理回路を設計することができる。 | 4 | 前5,前6 |
| フリップフロップなどの順序回路の基本素子について、その動作と特性を説明することができる。 | 4 | 前5,前6 |
評価割合
| 試験 | 発表 | 相互評価 | 態度 | ポートフォリオ | その他 | 合計 |
| 総合評価割合 | 80 | 0 | 0 | 0 | 20 | 0 | 100 |
| 基礎的能力 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 専門的能力 | 80 | 0 | 0 | 0 | 20 | 0 | 100 |
| 分野横断的能力 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |