電気磁気学や量子力学を基礎として材料中での電子の振る舞いや物理現象を取り扱った分野であり、それらの現象を理解することは電気系の技術者としてデバイスを利用するために重要となる。
本授業では、微視的世界の物理現象をイメージし、物理現象やデバイスの動作原理を説明できるようになることを目標とする。
概要:
教科書の内容に沿って講義する。説明が必要と感じた部分は、自作教材を用いて補足しながら講義をすすめる。半導体デバイスの基礎であるpn接合までのおさらいを行った後、ダイオード、バイポーラトランジスタ、MOS、MOS FET、化合物系のトランジスタについて電気特性の解析をしながら説明する。さらに、半導体の光学的性質、熱電的性質の説明とそれを使ったデバイスについても説明する。最先端デバイスについても説明を加える。
14年間の企業における研究開発で経験した集積回路用新規放射線レジストの研究開発、開発したレジストの上市とユーザ対応、超伝導磁束計の研究、光磁気ディスクのマスタリングと生産支援及びAS-MO研究等の経験を活かし、実際のデータ等を用いて講義する。
授業の進め方・方法:
本授業では、半導体のみならず個体の様々な物理現象を感覚的に理解し、半導体物性や半導体デバイスの動作原理を俯瞰できるように配慮して講義する。各種モデルやグラフの意味するところを中心に説明し、微視的世界に興味を持てる内容にしたい。板書とパワーポイントで進める。
注意点:
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週 |
授業内容 |
週ごとの到達目標 |
前期 |
1stQ |
1週 |
ガイダンス 半導体とは? |
1年間で学ぶ学習項目を理解する。
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2週 |
固体のバンド理論 概要説明 量子論入門 黒体輻射、パルマー系列 |
光と電子の粒子性と波動性を説明できる。 D2:1-3
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3週 |
ボーアの水素原子モデル ドブロイの関係式, シュレーディンガーの波動方程式 |
シュレーディンガーの波動方程式の導出過程及び意味を説明できる。D2:1-3
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4週 |
束縛粒子 フェルミエネルギー |
束縛粒子に関する簡単な計算ができる。D2:1-3
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5週 |
状態密度関数 固体の結合力 |
固体の結合力について説明できる。D2:1-3
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6週 |
結晶 ブラべー格子、ミラー指数 |
ブラベー格子について説明できる。 ミラー指数を計算できる。"D2:1-3
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7週 |
"固体の帯理論 帯理論の定性的説明 波動方程式による帯理論 "
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帯理論定性的な説明ができる。D2:1-3
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8週 |
答案返却、問題解説、出欠及び前期総合成績確認
ブリルアンゾーン |
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2ndQ |
9週 |
波動方程式による帯理論
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波動方程式による帯理論の導出過程を説明できる。D2:1-3
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10週 |
"統計力学の基礎 エネルギー分布則の種類 フェルミディラックの分布関数"
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エネルギー分布則の種類について説明できる。 フェルミディラックの分布関数を使った計算ができる。"D2:1-3
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11週 |
"p-n接合 半導体接合の分類 エネルギーバンド図"
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p-n接合のエネルギー準位図が書ける。 D2:1-3
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12週 |
p-n接合の電流電圧特性 整流性の定性的説明
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p-n接合のエネルギー準位図を使って、整流特性が説明できる。D2:1-3
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13週 |
整流性の定量的説明
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p-n接合の電流の式の導出過程を説明できる。 D2:1-3
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14週 |
"整流性の定量的説明 理想係数"
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p-n接合の電流の式を用いた簡単な計算ができる。 D2:1-3
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15週 |
p-n接合の逆方向降伏現象
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p-n接合の逆方向降伏現象について説明できる。 D2:1-3
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16週 |
答案返却、問題解説、出欠及び前期総合成績確認
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後期 |
3rdQ |
1週 |
前期末のおさらい整流性 理想係数
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p-n接合の電流の式の導出過程の説明とそれを用いた簡単な計算ができる。 D2:1-3
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2週 |
"p-n接合の接合容量 階段形不純物分布の接合容量"
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階段型不純物分布をもつp-n接合の接合両々を計算できる。D2:1-3
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3週 |
"傾斜形不純物分布の接合容量 トンネル(エサキ)ダイオード"
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傾斜型不純物分布をもつp-n接合の接合両々を計算できる。 トンネルダイオードの動作を説明できる。 D2:1-3
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4週 |
"金属半導体接触 金属半導体接触のエネルギー準位図"
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金属半導体接触のエネルギー準位図が書ける。 整流特性を説明できる。 D2:1-3
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5週 |
ヘテロ接合のエネルギー準位図
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ヘテロ接合のエネルギー準位図が書ける。
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6週 |
"ヘテロ接合の電流輸送機構と電子素子への応用 ダブルへテロ接合"
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ヘテロ接合の電流輸送機構について説明できる。 ヘテロ接合の電子素子への応用について、説明できる。D2:1-3
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7週 |
トランジスタ 接合形トランジスタの基礎動作
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トランジスタを分類して説明できる。 接合型トランジスタのエネルギー準位図が書ける。 エネルギー準位図を用いてトランジスタの動作を説明でる。D2:1-3
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8週 |
答案返却、問題解説、出欠確認
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4thQ |
9週 |
"電界効果型トランジスタの基礎動作 電荷結合素子"
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電界効果トランジスタの動作を説明できる。 D2:1-3
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10週 |
電界効果トランジスタ MOS
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MOS構造のエネルギー準位図が書ける。D2:1-3
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11週 |
電界効果トランジスタ MOS
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MOSトランジスタの動作をエネルギー準位図を用いて説明できる。D2:1-3 "
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12週 |
集積回路
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集積回路の歴史と現状について説明できる。 集積回路の作製プロセスを説明できる。D2:1-3
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13週 |
半導体の光学的性質
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半導体からの発光について説明できる。 光電効果について説明できる。D2:1-3
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14週 |
発光デバイスと受光デバイス
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発光ダイオード、半導体レーザーダイオードの動作原理を説明できる。 太陽電池、フォトダイオード、フォトトランジスタの動作について説明できる。D2:1-3
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15週 |
半導体の各種性質
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熱電適正室について説明できる。 磁電効果について説明できる。 ひずみ抵抗効果について説明できる。 D2:1-3
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16週 |
答案返却、問題解説、出欠及び総合成績確認
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