到達目標
4年生までに学んだ物理を実際の現象に応用する流れを理解する．物理学と工学の両方の観点から物理現象の研究と発展した科学技術の基礎および応用について理解する．
ルーブリック
| 理想的な到達レベルの目安 | 標準的な到達レベルの目安 | 未到達レベルの目安 |
| 真空の作り方，計り方が言える | 作り方，計り方を説明できる | 真空とは何かを説明できる | 真空を説明できない |
| 薄膜の作り方を説明できる | 薄膜の定義や作成方法を知っている | 薄膜の定義を知っている | 薄膜の定義や作成方法を知らない |
| 真空蒸着法について説明でき，平均自由行程が計算できる | 真空蒸着法を説明でき平均自由行程が計算できる | 真空蒸着法を説明できる | 真空蒸着法を説明できない |
| スパッタリングによる薄膜作成について説明できる | 図を交えて説明できる | 基本概念を説明できる | 基本概念を説明できない |
学科の到達目標項目との関係
専門 A1
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専門 A2
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教養 B1
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教養 B2
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教養 C1
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教養 D1
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教養 D2
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専門 E1
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専門 E2
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教育方法等
概要:
授業の進め方・方法:
講義を基本とし，理解を助けるために板書，計算問題，研究事例の提示を実施する．
注意点:
物理，電気磁気学，応用物理１，電子回路，電子回路特論，計測工学と関連する．
授業計画
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週 |
授業内容 |
週ごとの到達目標 |
| 前期 |
| 1stQ |
| 1週 |
ガイダンス、真空 |
授業の進め方がわかる
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| 2週 |
真空装置の基本構成 |
真空の定義がわかる
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| 3週 |
真空ポンプの原理 |
真空ポンプの種類と特徴がわかる
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| 4週 |
真空ポンプの原理 |
真空ポンプの種類と特徴がわかる
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| 5週 |
圧力測定 |
真空計の種類と特徴がわかる
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| 6週 |
圧力測定 |
真空計の種類と特徴がわかる
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| 7週 |
真空排気の基礎 |
ベーキングの役割を知っている
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| 8週 |
中間試験 |
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| 2ndQ |
| 9週 |
成績周知，真空蒸着と気体分子運動，期待分子運動の物理 |
基本的な分子運動論の考え方を学び，簡単な平均自由行程の計算ができる
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| 10週 |
真空蒸着と気体分子運動，期待分子運動の物理 |
基本的な分子運動論の考え方を学び，簡単な平均自由行程の計算ができる
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| 11週 |
真空蒸着と気体分子運動，期待分子運動の物理 |
基本的な分子運動論の考え方を学び，簡単な平均自由行程の計算ができる
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| 12週 |
真空蒸着と気体分子運動，期待分子運動の物理 |
基本的な分子運動論の考え方を学び，簡単な平均自由行程の計算ができる
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| 13週 |
真空蒸着法による薄膜 |
真空蒸着法による薄膜の作成方法の特徴を知っている
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| 14週 |
真空蒸着法による薄膜 |
真空蒸着法による薄膜の作成方法の特徴を知っている
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| 15週 |
真空蒸着法による薄膜 |
真空蒸着法による薄膜の作成方法の特徴を知っている
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| 16週 |
試験解説／成績確認 |
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| 後期 |
| 3rdQ |
| 1週 |
放電とプラズマ |
プラズマの定義と放電プラズマの特徴について言える
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| 2週 |
放電とプラズマ |
プラズマの定義と放電プラズマの特徴について言える
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| 3週 |
放電とプラズマ |
プラズマの定義と放電プラズマの特徴について言える
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| 4週 |
放電とプラズマ |
プラズマの定義と放電プラズマの特徴について言える
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| 5週 |
スパッタリング法の概要 |
スパッタリング法による薄膜の作成方法の特徴を知っている
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| 6週 |
スパッタリング法の概要 |
スパッタリング法による薄膜の作成方法の特徴を知っている
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| 7週 |
スパッタリング法の概要 |
スパッタリング法による薄膜の作成方法の特徴を知っている
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| 8週 |
中間試験 |
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| 4thQ |
| 9週 |
成績周知，膜厚測定 |
膜厚測定方法の種類と薄膜評価方法の種類を知っている
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| 10週 |
膜厚測定 |
膜厚測定方法の種類と薄膜評価方法の種類を知っている
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| 11週 |
膜厚測定 |
膜厚測定方法の種類と薄膜評価方法の種類を知っている
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| 12週 |
膜厚測定 |
膜厚測定方法の種類と薄膜評価方法の種類を知っている
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| 13週 |
膜厚測定 |
膜厚測定方法の種類と薄膜評価方法の種類を知っている
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| 14週 |
洗浄 |
基本的な洗浄方法を知っている
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| 15週 |
試験解説／成績確認 |
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| 16週 |
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評価割合
| 試験 | 発表 | 相互評価 | 態度 | ポートフォリオ | その他 | 合計 |
| 総合評価割合 | 70 | 0 | 0 | 0 | 0 | 30 | 100 |
| 基礎的能力 | 70 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 70 |
| 専門的能力 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 分野横断的能力 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 30 | 30 |