到達目標
シリコン半導体技術の概要、半導体デバイスの概要、及び半導体プロセスの概要について理解し、説明できる。
ルーブリック
| 理想的な到達レベルの目安 | 標準的な到達レベルの目安 | 未到達レベルの目安 |
| シリコン半導体技術の概要 | 集積回路の現状、課題、今後の進展につき、ムーアの法則、スケーリング則を理解したうえで、説明できる。 | 集積回路の現状、課題、今後の進展を説明できる。 | 集積回路の現状、課題、今後の進展が説明できない。 |
| 半導体デバイスの概要 | 本科で学習したｐｎ接合ダイオード、ＭＯＳ型トランジスタについて、専門英語の教科書の内容を理解、要約し、図を用いてプレゼンテーションできる。 | 本科で学習したｐｎ接合ダイオード、ＭＯＳ型トランジスタについて、専門英語の教科書の内容を理解し説明できる。 | 本科で学習したｐｎ接合ダイオード、ＭＯＳ型トランジスタについて、専門英語の教科書の内容が理解できない。 |
| 半導体プロセスの概要 | 集積回路に用いられているＣＭＯＳトランジスタの概要、基本プロセス技術について、専門英語の教科書の内容を理解、要約し、図を用いてプレゼンテーションできる。 | 集積回路に用いられているＣＭＯＳトランジスタの概要、基本プロセス技術について、専門英語の教科書の内容を理解し説明できる。 | 集積回路に用いられているＣＭＯＳトランジスタの概要、基本プロセス技術について、専門英語の教科書の内容が理解できない。
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学科の到達目標項目との関係
教育方法等
概要:
教科書の第２、３章を用いて、集積回路工学のうち、ＭＯＳトランジスタ理論に基づいて、シリコン半導体技術の概要からシリコン結晶の作製方法やＣＭＯＳ回路の特徴とその製作技術を分り易く教授する。講義では、最先端のシリコン結晶製造法や酸化、拡散工程とそれを用いたＣＭＯＳデバイスの作製プロセス技術、製造装置を講習する。また、次世代材料やデバイスについても学習する。
授業の進め方・方法:
①集積回路工学に関する英文教科書を用いて、最先端のシリコン結晶製造法や酸化、拡散工程とそれを用いたＣＭＯＳデバイスの作製プロセスを理解し説明できる。②集積回路工学が果たす社会的役割と半導体産業の実情を認識する。併せて、デバイス物性と集積回路の設計技術との接点を理解し説明できる。
注意点:
本科で学ぶ電子工学を基礎としています。本科での講義内容について十分に復習して受講してください。
各授業項目の自学学習のために授業中にレポート課題を与えます。質問等は空き時間に随時受けつけます。
授業計画
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週 |
授業内容 |
週ごとの到達目標 |
| 前期 |
| 1stQ |
| 1週 |
ガイダンス
シリコン半導体技術の概要（１） |
シリコン半導体産業の概要と市場を理解し説明できる。
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| 2週 |
シリコン半導体技術の概要（２） |
シリコン半導体産業の概要と市場を理解し説明できる。
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| 3週 |
酸化、拡散工程技術（１） |
酸化、拡散工程の概要を理解し説明できる。
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| 4週 |
酸化、拡散工程技術（２） |
酸化、拡散工程の概要を理解し説明できる。
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| 5週 |
ＮＭＯＳトランジスタ（１） |
ＮチャネルＭＯＳトランジスタの概要と動作原理、及び、製作プロセスを理解し説明できる。
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| 6週 |
ＮＭＯＳトランジスタ（２） |
ＮチャネルＭＯＳトランジスタの概要と動作原理、及び、製作プロセスを理解し説明できる。
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| 7週 |
ＣＭＯＳ回路（１） |
ＣＭＯＳトランジスタの概要と動作原理、及び、製作プロセスを理解し説明できる。
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| 8週 |
ＣＭＯＳ回路（２） |
ＣＭＯＳトランジスタの概要と動作原理、及び、製作プロセスを理解し説明できる。
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| 2ndQ |
| 9週 |
ＣＭＯＳ回路（３） |
ＣＭＯＳトランジスタの概要と動作原理、及び、製作プロセスを理解し説明できる。
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| 10週 |
ＣＭＯＳ回路（４） |
ＣＭＯＳトランジスタの概要と動作原理、及び、製作プロセスを理解し説明できる。
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| 11週 |
ＳＯＩデバイス（１） |
ＳＯＩデバイスの概要と動作原理、及び、製作プロセスを理解し説明できる。
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| 12週 |
ＳＯＩデバイス（２） |
ＳＯＩデバイスの概要と動作原理、及び、製作プロセスを理解し説明できる。
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| 13週 |
次世代材料・デバイス（１） |
ポストＳｉ材料である、ＳｉＧｅ、歪Ｓｉなどの次世代材料の動作原理、製作プロセスを理解し説明できる。
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| 14週 |
次世代材料・デバイス（２） |
ポストＳｉ材料である、ＳｉＧｅ、歪Ｓｉなどの次世代材料の動作原理、製作プロセスを理解し説明できる。
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| 15週 |
次世代材料・デバイス（３） |
ポストＳｉ材料である、ＳｉＧｅ、歪Ｓｉなどの次世代材料の動作原理、製作プロセスを理解し説明できる。
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| 16週 |
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モデルコアカリキュラムの学習内容と到達目標
| 分類 | 分野 | 学習内容 | 学習内容の到達目標 | 到達レベル | 授業週 |
評価割合
| 試験 | 発表 | レポート | 合計 |
| 総合評価割合 | 60 | 30 | 10 | 100 |
| 基礎的能力 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 専門的能力 | 60 | 30 | 10 | 100 |
| 分野横断的能力 | 0 | 0 | 0 | 0 |