到達目標
1) プラズマを特徴付ける概念を理解する。
2) プラズマの衝突過程、輸送過程を理解する。
3) 各種プラズマの生成方法と診断技術を理解する。
4) プラズマが産業や製品にどのように応用されているか理解する。
ルーブリック
| 理想的な到達レベルの目安
A | 標準的な到達レベルの目安
B | 到達レベルの目安(可)
C | (学生記入欄)
到達したレベルに〇をすること。 |
評価項目1 | 右に加え、量的な計算ができる。 | プラズマを特徴付ける概念を説明できる。 | ヒントを与えると、プラズマを特徴付ける概念を説明できる。 | A ・ B ・ C |
評価項目2 | 右に加え、衝突過程、輸送過程の量を計算できる。 | プラズマの衝突過程と輸送過程を説明できる。 | プラズマの衝突過程は説明できるが、輸送過程は説明できない。 | A ・ B ・ C |
評価項目3 | 右に加え、具体的な計算ができる。 | 各種プラズマの生成方法と診断技術を説明でいる。 | 各種プラズマの生成方法は説明できるが診断技術は説明できない。 | A ・ B ・ C |
評価項目4 | プラズマの応用分野と、どのように利用されているか説明できる。 | プラズマの応用分野を複数説明できる。 | プラズマの応用分野を一つ説明できる。 | A ・ B ・ C |
学科の到達目標項目との関係
学習・教育到達度目標 B2
説明
閉じる
JABEE d
説明
閉じる
教育方法等
概要:
主に放電プラズマを扱う気体電子工学は、電子・原子・分子の衝突・放射過程と、荷電粒子群の電磁場内における運動・輸送を理解することが基本である。本科目では、企業で放電プラズマを利用した光源の研究開発を担当していた教員がその実務経験を生かし、プラズマ中の基礎過程、各種プラズマの生成方法、特性、診断技術について授業を行う。
授業の進め方・方法:
・本科で学習した、電磁気学、微分・積分、微分方程式、基礎物理を復習しておくこと。
・プリントを使い、講義には演習を交えて進める。
・課題を適宜与えるので、レポートにまとめて期日までに提出すること。無断で期日に遅れた場合は、半分の点数で採点する。
注意点:
・放電工学を履修しておくことが望ましい。
・授業は対面と遠隔の併用で進める。
・コロナウイルスの感染拡大などで定期試験が実施できなくなった場合は、レポートで成績をつける。
ポートフォリオ
(学生記入欄)
【授業計画の説明】実施状況を記入してください。
【理解の度合】理解の度合について記入してください。
(記入例)ファラデーの法則、交流の発生についてはほぼ理解できたが、渦電流についてはあまり理解できなかった。
・後期中間試験まで:
・学年末試験まで :
【試験の結果】定期試験の点数を記入し、試験全体の総評をしてください。
(記入例)ファラデーの法則に関する基礎問題はできたが、応用問題が解けず、理解不足だった。
・後期中間試験 点数: 総評:
・学年末試験 点数: 総評:
【総合到達度】「到達目標」どおりに達成することができたかどうか、記入してください。
・総合評価の点数: 総評:
-------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
(教員記入欄)
【授業計画の説明】実施状況を記入してください。
【授業の実施状況】実施状況を記入してください。
・後期中間試験まで:
・学年末試験まで :
【評価の実施状況】総合評価を出した後に記入してください。
授業の属性・履修上の区分
授業計画
|
|
週 |
授業内容 |
週ごとの到達目標 |
後期 |
3rdQ |
1週 |
1. プラズマの特徴(1) |
・速度分布関数、電子温度といった、プラズマを特徴付ける概念を説明できる。
|
2週 |
1. プラズマの特徴(2) |
・準中性、デバイ遮蔽、プラズマ振動といった、プラズマを特徴付ける概念を説明できる。
|
3週 |
2. 電磁場内でのプラズマの運動(1) |
・プラズマが電場内でどのような運動をするか説明できる。
|
4週 |
2. 電磁場内でのプラズマの運動(2) |
・プラズマが各種電磁場の配位内でどのような運動をするか説明できる。
|
5週 |
3. プラズマ中の基礎過程(1) |
・連続の式に基づき粒子数を求める方法を説明できる。
|
6週 |
3. プラズマ中の基礎過程(2) |
・壁とプラズマの境界にできるシースについて説明できる。
|
7週 |
3. プラズマ中の基礎過程(3) |
・プラズマのバルクとシースにおけるふるまいを説明できる。
|
8週 |
4. 各種プラズマの生成(1) |
・直流放電プラズマの生成方法と特徴について説明できる。
|
4thQ |
9週 |
4. 各種プラズマの生成(2) |
・容量結合プラズマの生成方法と特徴について説明できる。
|
10週 |
4. 各種プラズマの生成(3) |
・容量結合プラズマの自己バイアスについて説明できる。
|
11週 |
4. 各種プラズマの生成(4) |
・誘導結合プラズマの生成方法と特徴について説明できる。
|
12週 |
4. 各種プラズマの生成(5) |
・表面波プラズマ等の生成方法と特徴について説明できる。
|
13週 |
5. プラズマの診断(1) |
・電子温度と電子密度を計測するためのプローブ法について、原理と測定データの解析方法を説明できる。
|
14週 |
5. プラズマの診断(2) |
・励起原子密度を求めるための分光測定法について、原理と測定データの解析方法を説明できる。
|
15週 |
6. プラズマの応用 |
・半導体プロセス、ディスプレイ、光源、環境浄化、分析等、プラズマが利用されている分野と内容を説明できる。
|
16週 |
学年末試験 |
|
モデルコアカリキュラムの学習内容と到達目標
分類 | 分野 | 学習内容 | 学習内容の到達目標 | 到達レベル | 授業週 |
評価割合
| 試験 | レポート | 相互評価 | 態度 | ポートフォリオ | その他 | 合計 |
総合評価割合 | 70 | 30 | 0 | 0 | 0 | 0 | 100 |
基礎的能力 | 40 | 20 | 0 | 0 | 0 | 0 | 60 |
専門的能力 | 30 | 10 | 0 | 0 | 0 | 0 | 40 |
分野横断的能力 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |